设备：小型等离子清洗机 ATTO
销售：021-31598236
产品功能：
清洗： 工艺部件的表面通过离子束的物理轰击而被清洗，也可与特定气体发生化学反应从而被清洗，清洗掉的工艺污染物转化为气相被排出。 如：去除有机污染物，去除纳米级微粒，去除氧化层。
活化：工艺部件表面通过氧气或空气处理后，会在表面形成氧原子团，这样能使部件表面亲水性和表面张力提高，能使涂料和粘接剂更好的附着于上，提高其的粘合力和附着力。 如：PDMS键合，粘接前的预处理，涂装前的预处理，印刷前的预处理。
涂层：使工艺部件表面发生等离子聚合反应，前驱单体导入等离子真空腔室后使其电离并沉积至材料表面，随即发生聚合反应，形成聚合物层。 如：疏水层，亲水层，保护/阻隔层，干润滑层，疏油层。
具体应用：
• 小批量生产
• 分析（REM,TEM）
• 医疗技术
• 灭菌
• 研究和开发部门
• 考古
• 纺织技术
• 塑料技术
| 主要技术参数 |
1. 手动控制 2. *根据工艺要求不同，可设定功率、压强、气体流量等参数 3. 双路工作气体，气体流量通过针型阀流量控制 4. 反应舱为高硼硅玻璃，Φ 211 mm、长 300 mm，容积10.5L 5. 发生器频率13.56MHz功率0~300W 6. 反射波自动调节，无须手工调节 7. 电极材质为铝/不锈钢 8. 运行模式为手动 9. 真空泵的排气能力为8.0m3/Hour，国产飞越真空泵 10. *配有压力传感器，可根据工艺要求设定压力值 11. 外尺寸：宽 425 mm、高 275 mm、深 450 mm 12. 电源电压：单相AC230V 16A |
选配：
PCCE 控制系统 (Microsoft Windows CE)/ PC 控制系统 (Microsoft Windows POS Ready 2009)
气体：
MFC气体流量计
真空腔材质：
石英
托盘：
铝板/不锈钢板/硼硅玻璃/石英
发生器：
40KHz0-200W
其他：
......
