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一、产品特点：
- 等离子蚀刻 (中性主导)
- 铝制腔体140*200*110mm（W*D*H）
- 等离子发生器20~100KHz功率 100W可调
- 流量控制器(最大100sccm，最多3个通道)
- 外形尺寸：440×500×560 mm(长×宽×高)
二、系统配置：
2、主系统：
•卧式矩形腔体，无焊接的单块铝(最大限度地减少泄漏)，
内部尺寸：140x200x110 mm(WxDxH)
•均匀气流设计(专利号10-1697205)
• PE模式(单电极)
•真空流量计：皮拉尼(约5x10-4Torr)
3、流量控制器(MFC)：
•高重复性MFC
•数量：2(Forx2气体管路)
•工艺气体：O2、Ar、N2、空气等气体都可使用/气体流量：最大100sccm(以1 sccm为增量可调)
4、发生器：
•频率范围：20~100 kHz(以10 kHz为增量可调)
•功率：最大100W(1 W增量可调)
5、控制软件：
•整个系统具有高度可控性的交互式用户界面
•7英寸触摸式彩色屏，工业级PC系统软件控制
•手动和全自动模式(最多10个预先存储的工艺配方)
• USB闪存数据传输
- 等离子蚀刻 (中性主导)
- 铝制腔体140*200*110mm（W*D*H）
- 等离子发生器20~100KHz功率 100W可调
- 流量控制器(最大100sccm，最多3个通道)
- 外形尺寸：440×500×560 mm(长×宽×高)
一、产品特点：
二、系统配置：
2、主系统：
•卧式矩形腔体，无焊接的单块铝(最大限度地减少泄漏)，
内部尺寸：140x200x110 mm(WxDxH)
•均匀气流设计(专利号10-1697205)
• PE模式(单电极)
•真空流量计：皮拉尼(约5x10-4Torr)
3、流量控制器(MFC)：
•高重复性MFC
•数量：2(Forx2气体管路)
•工艺气体：O2、Ar、N2、空气等气体都可使用/气体流量：最大100sccm(以1 sccm为增量可调)
4、发生器：
•频率范围：20~100 kHz(以10 kHz为增量可调)
•功率：最大100W(1 W增量可调)
5、控制软件：
•整个系统具有高度可控性的交互式用户界面
•7英寸触摸式彩色屏，工业级PC系统软件控制
•手动和全自动模式(最多10个预先存储的工艺配方)
• USB闪存数据传输
