等离子清洗机的真空腔体材质选择
等离子清洗机的选择中除了发生器需要匹配用户的工艺进行选择，真空腔体的材质也是需要结合用户的处理样品去选择匹配的。通常等离子腔体的材质有这么几种：高硼硅玻璃、石英玻璃、不锈钢、铝制腔体，那么这几种腔体的选择又该注意些什么呢？
对于高硼硅玻璃腔体而言，是比较适用于高校科研的小型腔体实验，这种材质的腔体优点在于比较适用于等离子处理的任何工艺，比如清洗/活化/蚀刻/涂层都可以用这种腔体去做，高硼硅玻璃腔体相较于别的金属材质的腔体洁净度更好，由于高硼硅玻璃的材质密度比较大，对于物理轰击时该材质产生的杂质比金属材质少。因此这种材质时进行小型研发实验的优先选择。
石英材质是非常洁净的一种腔体，因为是纯的单晶体，该类型的腔体几乎不会产生任何杂质，非常适用于晶圆等洁净要求度高的样品。但是因为石英腔体是比较脆的，圆形样品及没有尖角的样品更能适合它，否则，在操作过程中，很可能因为操作者的不注意或者动作太大而使石英腔体遭到损坏，并且，石英的成本高于高硼硅玻璃，因此使用者在选择或者操作实验时需要多注意。
不锈钢腔体与铝制腔体因为是金属材质，更适合大的样品做处理，大型的生产型工艺基本都是这两者二选其一。铝制腔体相对来说更受欢迎，不仅因为其成本略低，而且可以根据用户的产量定制较为大型的容量腔体。Diener在其铝制腔体的生产当中也积累了大量经验和知识，由此获得了一个以铝制-挤压型材为基础的独特、灵活的腔室系统。将三米长的型材切割成所需要的长度，并装配一个用螺丝拧紧的后板和一扇门，在型材的侧板中已有凹槽，可轻松将产品支架推入其中。
铝制腔体系统具有非常大的优势：长度灵活，可达3米。交货时间非常快，因为只需要补充门的后板，重量轻，无需复杂的产品支架安装操作。可以通过阳极氧化获得所需的颜色，导热性能非常好。加工简单，无需焊接，即可轻松安装部件。可以轻松固定到现有的连接片上。
我们的模块化系统将为您打开一扇新世界的大门，全新的真空系统能够由单个或多个长度为500mm的相同铝合金整体加工模块组合而成。
