产品详情
技术参数
行业应用
实验型等离子清洗机
产品型号：CPC-E/F/FM系列
设备特点：
- 7寸彩色触摸屏中英文互动操作界面，自动控制监测工艺参数状态，20个配方程序，工艺数据可存储追溯。
- PLC控制整个清洗过程，全自动清洗。
- 采用美国德威尔（Dwyer）气体浮子流量计或质量流量计(CPC-FM)，可输入氧气、氩气、氮气、氢气或混合气等气体，气体控制良好。
- 气体返填吹扫，HEPA高效过滤，防止二次污染。
- 316不锈钢、石英真空舱可选择，全真空管路系统采用316不锈钢材质，耐腐蚀无污染。
- 内凹式前面板设计，有效保护流量计和舱门不易损坏。
- 处理快速高效均匀，无污染，工艺重复性好。
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型号 |
CPC-E |
CPC-Eplus |
CPC-F |
CPC-Fplus |
CPC-FM |
CPC-FMplus |
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射频电源 |
40KHz |
13.56MHz |
40KHz |
13.56MHz |
40KHz |
13.56MHz |
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射频功率 |
0-300W |
0-150W |
0-300W |
0-150W |
0-300W |
0-150W |
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匹配器 |
自动匹配器 |
自动匹配器 |
自动匹配器 |
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激发方式 |
电容式或电感耦合（ICP） |
电容式或电感耦合（ICP） |
电容式或电感耦合（ICP） |
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气体控制 |
单浮子流量计 |
双浮子流量计 |
单路MFC（可选两路） |
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舱体尺寸 |
D200×Φ155mm |
D200×Φ155mm |
D200×Φ155mm |
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舱体材质 |
不锈钢或石英玻璃 |
不锈钢或石英玻璃 |
不锈钢或石英玻璃 |
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舱体容积 |
3.8L |
3.8-5L |
3.8-5L |
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有效处理尺寸 |
L200×W155mm |
L200×W155mm |
L250×W155mm |
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时间设定 |
9999秒 |
9999秒 |
9999秒 |
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真空泵 |
抽速4m³/h |
抽速4m³/h |
抽速4m³/h |
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气体稳定 时间 |
1分钟 |
1分钟 |
1分钟 |
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真空度 |
100pa以内 |
100pa以内 |
100pa以内 |
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电 源 |
AC220V 50/60Hz 766/316W |
AC220V 50/60Hz 766/316W |
AC220V 50/60Hz 752/302W |
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产品尺寸 |
L440×W410×H455mm |
L440×W410×H455mm |
L440×W410×H455mm |
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包装尺寸 |
L560×W560×H685mm |
L560×W560×H685mm |
L560×W560×H685mm |
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整机重量 |
32kg |
32kg |
32kg |
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广泛应用于材料学、微电子、半导体、新能源、线路板、LED、微流控、光电太阳能、生物医学等领域，主要用于材料表面进行清洗、改性、刻蚀等目的。
info@chirl-tech.com
上海市松江区文翔路352号茸全科创园4幢217室
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