首页产品中心等离子清洗机UVO紫外臭氧清洗机
UVO紫外臭氧清洗机

紫外臭氧清洗机(UVO),是一种简单,经济,快速高效的材料表面清洗设备,能快速去除大多数无机基材(比如石英,硅片,金,镍,铝,砷化镓,氧化铝等)上的有机污染物。CIF推出的紫外臭氧清洗机系列产品采用长寿命UV石英低压汞蒸汽格栅灯,样品台高度可调,可选加热控温,以便达到良好清洗效果。

产品详情

技术参数

行业应用

紫外臭氧清洗机(UVO)

产品型号:

UVO5/UVO5P/UVO5T、UVO9/UVO9P/UVO9T、UVO13/UVO13P/UVO13T

设备特点:

  • UVO基础型系列采用可编程数字控制器,设置操作简单方便,四键操作控制。UVOPUVOT系列采用5寸彩色触摸屏中英文互动操作界面,设置显示计时时间及加热温度。
  • 自动补偿功能,自动恒定光强光密度,不会因为低压汞灯老化光强衰减影响清洗效果。
  • 数字显示清洗时间,1-999分钟之间可自行设置清洗时间。
  • 任何时间可以手动中断处理过程。
  • 自动记录之前清洗参数设置。
  • 样品台可控温(可选),控温范围RT-200℃,控温精度0.1℃。
  • 顶置下压式铰链开关盖方式,操作简单方便。
  • 上置式样品台设计,360度自由放置样品,操作方便。
  • 样品台高度可调,通过调节灯与样品之间的间距,可以合理定位样品高度和位置,并可锁定。
  • UV石英低压汞蒸汽格栅灯,灯管寿命大约为8000小时。
  • 高强度UV灯源,波长185nm254nm
  • 可累计计时UV格栅灯使用时长,更换提示。
  • UV反射罩(长X宽)比UV格栅灯大25mm
  • 双重安全保护,带有安全锁,当清洗腔打开时,系统自动关掉UV灯,并有灯光通断提示。
  • 带进&出气口双气路设计。
  • 可接入氧气或者臭氧,增加臭氧产量。
  • UVO5可选外置臭氧中和器,UVO9UVO13系列可选外置或者内置臭氧中和器,用于臭氧清除。
  • 可根据客户要求定制铝或石英材料真空反应腔。
技术参数

产品型号

UVO5/UVO5P

/UVO5T

UVO9/UVO9P

/UVO9T

UVO13/UVO13

P/UVO13T

UV灯尺寸

130×130mm

230×230mm

330×330mm

样品台高度

0-50mm可调

0-50mm可调

0-50mm可调

AC220V 50/60Hz

140/190/690W

AC220V 50/60Hz 140/190/690W

AC220V 50/60Hz  140/190/1160W

外型尺寸

L260×W320

×H200mm

L370×W470

×H200mm

L465×W575

×H200mm

包装尺寸

L375×W470

×H390mm

L490×W600

×H320mm

L575×W680

×H320mm

整机重量

8kg

15kg

18kg

注:UVO型基础型样品台不带加热功能,样品台高度可调;UVOP可选配样品台加热功能,样品台高度可调;UVOT标配样品台加热功能,样品台高度可调。可选臭氧中和装置。

行业应用
  • 石英/玻璃制品的表面清洗:液晶面板,等离子电视屏幕,彩色过滤片,光罩,棱镜,透镜,反射镜,平板电视等。
  • 微电子产品的表面清洗:微型马达轴,磁头驱动架,光盘,光电器件,手机摄像头,微型喇叭/受话器震膜,半导体硅片,掩膜版。
  • 精密集成电路的表面清洗:液晶显示器ITO,精密电路板,软性电路板接头,BGA基板的清洗COG的清洗COF(ILB)接合面的清洗,薄膜基板的清洗,金属基板的清洗,BGA基板与粘结垫的清洗。
  • 在胶粘接或是印刷之前,对高分子聚合制品的表面改性:橡胶粘接,塑料汽车部件,透镜保护膜,塑料薄膜,树脂成型空气袋,IC包装,注射针接合部分的表面性,介入导管的表面改型等。
  • 科研过程的表面清洗及处理:半导体,生物芯片,纳米材料,聚合物,光化学等。


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