CPC-Auto在线片式真空等离子清洗机具有成本较低、容易使用，维护乃保养费用低，环保等优点。适用于芯片粘结工艺前、引线键合和覆晶封装工艺前的表面处理，与传统独立式的等离子清洗机相比，在线片式真空等离子清洗机具有自动化程度高、清洗效率高、设备洁净度高、适用范围广等优点，适用于大规模全自动化生产。
产品详情
技术参数
行业应用
在线片式真空等离子清洗机
产品型号：CAP-AUTO
设备特点：
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电源系统 |
射频电源 |
13.56MHz |
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射频功率 |
0-600W |
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真空系统 |
真空管路 |
全不锈钢管路，以及高强度真空波纹管 |
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材质 |
铝合金 |
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密封性 |
一体成型 |
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腔体体积 |
9.6L |
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腔体尺寸 |
550*350*50 |
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适用产品尺寸 |
180-280mm×25-90mm(长×宽） |
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适用料盒尺寸 |
180-290mm×25-93×250mm(长×宽×高) |
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通道数量 |
标准4条(可定制) |
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电极板大小 |
520×320mm |
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等离子激发时间 |
等离子激发清洗时间 |
5Sec |
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产量 |
UPH |
480(蛇皮时间10S,4条流道时) |
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清洗能力 |
水滴角 |
水滴角测试<12° |
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流量范围 |
0-300Sccm |
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工艺气体 |
标配2路，可定制氩气：3bars 1L/min氮气：3bars 1L/min |
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其它参数 |
电源 |
AC 380V 5.5KW |
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外形尺寸 |
1920×1120×2170mm |
等离子清洗设备广泛应用于材料学、微电子、半导体、新能源、线路板、LED、微流控、光电太阳能、生物医学等领域，用于材料表面进行清洗、改性、刻蚀等目的。
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上海市松江区文翔路352号茸全科创园4幢217室
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