CIF推出全新一代 CPC-G、10系列实验室型等离子体清洗设备，改变传统等离子体清洗设备设计理念。CIF实验室型等离子清洗机具有较大的腔体尺寸和有效样品处理面积，使用成本低，性价比高，处理快速高效，特别适合于大学，科研院所和光电企业实验室小批量中试生产。
产品详情
技术参数
行业应用
实验室型等离子清洗机
产品型号：CPC-G/10系列
设备特点：
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型号 |
CPC-10 |
CPC-10plus |
CPC-10M |
CPC-10M plus |
CPC-G |
CPC-Gplus |
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射频电源 |
40KHz |
13.56MHz |
40KHz |
13.56MHz |
40KHz |
13.56MHz |
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射频功率 |
0-600W |
0-300W |
0-600W |
0-300W |
0-600W |
0-150W |
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匹配器 |
自动匹配器 |
自动匹配器 |
自动匹配器 |
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激发方式 |
电容式 |
电容式 |
电容式 |
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气体控制 |
双浮子流量计 |
单路MFC（可选两路） |
单路MFC（可选两路） |
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舱体尺寸 |
L300×Φ215mm |
L300×Φ215mm |
H100×Φ269mm |
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舱体材质 |
不锈钢 |
不锈钢 |
石英玻璃 |
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舱体容积 |
10.8L |
10.8L |
5.6L |
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有效处理尺寸 |
L300×W215mm |
L300×W215mm |
Φ269mm圆盘 |
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时间设定 |
9999秒 |
9999秒 |
9999秒 |
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真空泵 |
抽速8m³/h |
抽速8m³/h |
抽速4m³/h |
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气体稳定时间 |
1分钟 |
1分钟 |
1分钟 |
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真空度 |
100pa以内 |
100pa以内 |
100pa以内 |
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电 源 |
AC220V 50/60Hz 766/466W |
AC220V 50/60Hz 752/452W |
AC220V 50/60Hz 752/302W |
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产品尺寸 |
L645×W550×H495mm |
L645×W550×H495mm |
L425×W480×H445mm |
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包装尺寸 |
L750×W700×H720mm |
L750×W700×H720mm |
L550×W630×H700mm |
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整机重量 |
55kg |
55kg |
30kg |
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广泛应用于材料学、微电子、半导体、新能源、线路板、LED、微流控、光电太阳能、生物医学等领域，主要用于材料表面进行清洗、改性、刻蚀等目的。
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