透射电镜（TEM）样品杆清洗机采用远程离子清洗源设计，清洗快速高效，低轰击损伤，同时可实现常规等离子清洗。主要用于TEM透射电镜样品杆的等离子体清洗和真空检漏。
产品详情
技术参数
行业应用
透射电镜（TEM）样品杆清洗机
产品型号：CIF-TEM
设备特点：
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产品型号 |
CIF-TEM |
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等离子电源 |
13.56MHz等离子射频电源，射频功率5-150W可调 |
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远程等离子源，自动匹配器 |
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清洗室 |
清洗室尺寸Ø180xH100mm |
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清洗数量 |
可同时清洗3支TEM样品杆 |
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适配品牌 |
美国THERMO FISHER（FEI）、日本日立（HITACHI）、日本电子（JEOL） |
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气体控制 |
标配单路质量流量计（MFC）可选双路。0-500sccm，自动控制气体流量，不会受环境温度和压力变化影响 |
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气源选择 |
根据需求氧气、氩气、氮气、氢气等多种清洗气源选择 |
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真空控制 |
皮拉尼真空计，测量范围1.0E-5Pa~1E+5Pa |
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真空保证 |
真空计和电磁阀安全互锁 |
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操控方式 |
7寸全彩触摸屏控制，中英文互动操作界面 |
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真空泵 |
前级泵 |
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抽气速率2.5 m³/h |
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分子泵 |
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极限真空：LF<8*10-6Pa，CF<8*10-7Pa |
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分子泵抽速 85L/s（N2） |
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入口法兰：DN63 ISO-K(LF)/ CF |
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质量保证 |
二年质保，终身维护 |
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电 源 |
AC220V、50/60Hz，300W |
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产品尺寸 |
L565xW505xH560mm |
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包装尺寸 |
L715xW655xH820mm |
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整机重量 |
68kg |
可实现常规等离子清洗，主要用于TEM透射电镜样品杆的等离子体清洗和真空检漏。
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上海市松江区文翔路352号茸全科创园4幢217室
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