CIF扫描电镜（SEM）等离子清洗机采用远程等离子清洗源设计，清洗快速、高效、低轰击损伤，主要用于SEM或FIB等腔体内碳氢化合物的清洗。与国内外知名厂商电镜配套使用。
产品详情
技术参数
行业应用
设备特点：
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产品型号 |
CIF-SEM |
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法兰接口 |
KF40（CF40） |
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工作气压 |
0.3-3Pa |
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等离子电源 |
13.56MHz射频电源，射频功率5-150W可调 |
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远程等离子源，自动匹配器 |
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气体控制 |
标配单路质量流量计（MFC）可选双路。0-500sccm，自动控制气体流量，不会受环境温度和压力变化影响 |
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气源选择 |
根据需求氧气、氩气、氮气、氢气等多种清洗气源选择 |
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真空保证 |
真空计和电磁阀安全互锁 |
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操控方式 |
7寸全彩触摸屏控制，中英文互动操作界面 |
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电源/功率 |
AC220V，50/60Hz，320W |
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可选配件 |
可选氧气、氮气、氢气发生器， 氢气纯度﹥99.999％，输出流量0-500SCCM |
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质量保证 |
二年质保，终身维护 |
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产品尺寸 |
L320xW385xH465mm |
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包装尺寸 |
L440xW535xH725mm |
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整机重量 |
25kg |
主要用于SEM或FIB等腔体内碳氢化合物的清洗。与国内外知名厂商电镜配套使用。
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