产品详情
技术参数
行业应用
VGB系列手套箱专用等离子清洗机
产品型号：VGB3/VGB3Plus
设备特点：
安装简单方便，性能稳定，实用性强，容易维护。
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型号 |
VGB3 |
VGB3Plus |
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舱体尺寸 |
D200×Φ155mm |
D200×Φ155mm |
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舱体容积 |
3.8L |
3.8L |
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舱体材质 |
不锈钢 |
不锈钢 |
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射频电源 |
40KHz |
13.56MHz |
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匹配器 |
自动匹配 |
自动匹配 |
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激发方式 |
电容式或电感 |
电容式 |
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射频功率 |
0-500W可调 |
0-150W可调 |
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气体控制 |
双浮子流量计（标配） |
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有效处理尺寸 |
L200×W155mm |
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时间设定 |
9999秒 |
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真空泵 |
抽速4m³/h |
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气体稳定时间 |
1分钟 |
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真空度 |
100pa以内 |
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电 源 |
AC220V 50/60Hz 666/316W |
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舱体尺寸 |
L235×W345×H245mm |
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控制尺寸 |
L330×W490×H190mm |
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包装尺寸 |
L450×W640×H690mm |
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整机重量 |
25kg |
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等离子清洗设备广泛应用于材料学、微电子、半导体、新能源、线路板、LED、微流控、生物医学等领域，主要用于材料表面进行清洗、改性、刻蚀等目的。
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上海市松江区文翔路352号茸全科创园4幢217室
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