CPC系列等离子清洗机是为中试客户和工业级客户而设计的等离子体表面处理设备。配置丰富，且真空腔体里可分层，适合大多数生产场景清洗，活化、刻蚀等应用。设备可在严苛环境下稳定运行，产品性能稳定，样品处理重复性、一致性好。
产品详情
技术参数
行业应用
CPC系列中试生产型等离子清洗机
产品型号：CPC15/CPC35/CPC80/CPC120/CPC150
设备特点：
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型号 |
CPC15 |
CPC35 |
CPC80 |
CPC120 |
CPC150 |
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舱体尺寸 |
W240xH240 xD260mm |
W320xH320 xD350mm |
W420xH400 xD500mm |
W500xH500 xD450mm |
W500xH500 xD600mm |
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舱体容积 |
15L |
35L |
80L |
120L |
150L |
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舱体材质 |
不锈钢 |
不锈钢 |
不锈钢 |
不锈钢 |
不锈钢 |
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处理尺寸 |
W240x D220mm |
W320x D320mm |
W420x D470mm |
W500x D420mm |
W500x D570mm |
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电极分布 |
2层 |
3-4层 |
6层 |
8-10层 |
10-15层 |
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射频电源 |
13.56MHz |
13.56MHz |
13.56MHz |
13.56MHz |
13.56MHz |
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射频功率 |
0-300W |
0-300W |
0-600W |
0-1000W |
0-1000W |
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匹配器 |
自动匹配器 |
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激发方式 |
电容式 |
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电 流 |
1.2A |
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时间设定 |
9999秒 |
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气体稳定时间 |
1分钟 |
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真空度 |
100pa以内 |
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控制系统 |
7寸PLC触摸屏控制 |
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工艺气体 |
2气路 MFC（可选装3路） |
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产品尺寸 |
L625xW600 xH760mm |
L625xW600 xH805mm |
L905xW845 xH1940mm |
L625xW600 xH760mm |
L905xW845 xH2010mm |
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包装尺寸 |
L740xW775 xH1000mm |
L740xW775 xH1045mm |
L1015xW1065 xH2050mm |
L1015xW1065 xH2120mm |
L1015xW1065 xH2120mm |
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真空泵 |
抽速约8m³/h |
抽速16m³/h |
抽速40m³/h |
抽速60m³/h |
抽速约60m³/h |
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电 源 |
AC220V 50/60Hz 552W |
AC220V 50/60Hz 552W |
AC380V 50/60Hz 902W |
AC380V 50/60Hz 1302W |
AC380V 50/60Hz 1302W |
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整机重量 |
108kg |
135kg |
465kg |
485kg |
575kg |
等离子清洗设备广泛应用于材料学、微电子、半导体、新能源、线路板、LED、微流控、光电太阳能、生物医学等领域，用于材料表面进行清洗、改性、刻蚀等目的。
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